- AutorIn
- Marcus Lippold
- Titel
- Beiträge zum Verständnis des sauren nasschemischen Ätzens von Silicium
- Untertitel
- Das System HF-HNO3-H2SO4/H2O
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-145077
- Datum der Einreichung
- 04.03.2014
- Datum der Verteidigung
- 09.05.2014
- Abstract (DE)
- Der Siliciumauflöseprozess in HF-HNO3-H2SO4/H2O-Lösungen unterscheidet sich vom Ätzprozess in HF-HNO3-H2O-Standardmischungen in Bezug auf die Reaktivität gegenüber Silicium, erzielte Oberflächenmorpholgien sowie die beim Ätzen entstehenden gelösten und gasförmigen Produkte. Durch die Behandlung in H2SO4-reichen HF-HNO3-H2SO4/H2O-Lösungen werden auf Siliciumwafern Texturen mit hoher Rauigkeit und geringer Reflexion erzeugt. mc-Si-Solarzellen texturiert durch eine H2SO4-reiche Ätzlösung weisen vergleichend zu Solarzellen mit Standardtexturen höhere Wirkungsgrade auf. In HF-HNO3-H2SO4/H2O-Lösungen mit hohen Schwefelsäurekonzentrationen (c(H2SO4) > c(H2O)) wirkt sowohl das Salpetersäuremolekül HNO3 als auch das Nitrylion NO2+ als Oxidationsmittel. Trifluorsilan HSiF3 und Hexafluordisiloxan F3SiOSiF3 wurden erstmalig als gasförmige Produkte des sauren nasschemischen Ätzens identifiziert. Anhand von Modellreaktionen zur Reaktivität von Nitrylionen wurde deren Reduktionssequenz im Siliciumätzprozess aufgeklärt.
- Freie Schlagwörter (DE)
- Silicium, Nasschemische Halbleiterätzverfahren, Nitrylionen, Fluorsilane, Solarzellen, Texturieren
- Freie Schlagwörter (EN)
- silicon, wet chemical semiconductor etching, nitronium ions, fluorosilanes, solar cells, texturization
- Klassifikation (DDC)
- 540
- Normschlagwörter (GND)
- Silicium, Nassätzen, Flusssäure, Salpetersäure, Schwefelsäure, Silane, Wafer, Textur, Ätzen
- GutachterIn
- Prof. Dr. Edwin Kroke
- Prof. Dr. Johannes Heitmann
- BetreuerIn
- Prof. Dr. Edwin Kroke
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- TU Bergakademie Freiberg, Freiberg
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-145077
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 20.06.2014
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch