- AutorIn
- Thomas Krüger
- Titel
- Entwicklung einer Erregereinheit zur Erzeugung hochfrequenter Schwingungen beim Drahtsägen
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-157218
- Datum der Einreichung
- 10.09.2014
- Datum der Verteidigung
- 14.11.2014
- Abstract (DE)
- Bei der Fertigung von Siliziumwafern durch Zerteilen eines Siliziumblockes kommt das Drahttrennläppverfahren zur Anwendung. Es wird eine Erregereinheit entwickelt, die den Siliziumblock während des Schneidprozesses zu Schwingungen anregt. Die Verwendung von Piezoaktoren ermöglicht mehrachsige Schwingungen mit variabler Frequenz und Amplitude. Wesentliche Bestandteile der Arbeit sind experimentelle Untersuchungen an den Aktoren und der gesamten Erregereinheit sowie die Modellierung des Gesamtsystems mit Hilfe linearer Einzelmodelle. Es zeigt sich, dass die Aktoren bei dynamischen Anwendungen linear beschrieben werden können, während das Gesamtmodell besonders in den Resonanzbereichen aufgrund montagebedingter Einflüsse Schwächen aufweist. Abschließend wird der Einfluss der Schwingungsanregung beim Drahtsägen untersucht. Aus den Versuchen geht hervor, dass im getesteten Frequenz- und Amplitudenbereich sowohl hohe Erregerfrequenzen als auch –amplituden geringere Schnittkräfte zur Folge haben.
- Freie Schlagwörter (DE)
- Drahttrennläppen, Schwingungsanregung, Schwingungserregung, Photovoltaik, Wafer, Drahtsägen, Siliziumblock, Ingot, Piezoaktoren, Piezoelektrizität, Modalanalyse, Zustandsraum
- Freie Schlagwörter (EN)
- wire sawing, excitation, vibrations, photovoltaics, wafer slicing, silicon brick, ingot, piezoelectric actuators, piezoceramics, piezoelectricity, modal analysis, state space
- Klassifikation (DDC)
- 620
- Normschlagwörter (GND)
- Silicium, Wafer, Drahtsäge, Trennläppen, Schwingungsanregung, Modalanalyse, Piezoelektrizität, Experiment, Photovoltaik, Numerisches Verfahren
- GutachterIn
- Prof. Dr.-Ing. Alfons Ams
- Prof. Dr.-Ing. Bernhard Schweizer
- BetreuerIn
- Prof. Dr.-Ing. Alfons Ams
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Bergakademie Freiberg, Freiberg
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-157218
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 18.12.2014
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch