- AutorIn
- Florian Buchholz
- Titel
- Metal surface contamination in c-Si solar cell processing
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-203660
- Datum der Einreichung
- 11.02.2016
- Datum der Verteidigung
- 23.05.2016
- Abstract (DE)
- Fe und Cu wurden als Schlüsselspezies für die Betrachtung von Oberflächenkontamination in der Prozessierung von c-Si-Solarzellen identifiziert. Studien mit gezielt aufgebrachten Metallkonzentrationen vor verschiedenen Passivierungs- und Diffusionsprozessschritten ergaben relativ hohe kritische Werte für Cu, außer bei thermischer Oxidation. Niedrige Werte wurden für beide Elemente vor Hochtemperaturschritten im n-Typ-Hocheffizienzprozess beobachtet, wobei sich die B-Diffusion als etwas weniger empfindlich darstellte. Temporäre Gettereffekte für Fe (in p-Typ-Si) und Cu (in n-Typ-Si) wurden beobachtet. Es zeigte sich, dass As-Cut-Wafer, unabhängig von der Sägeart (SiC-slurry oder Diamantdraht) sehr hohe Metallverunreinigungen (im Bereich 1*1011 – 5*1014 cm-2) in den Prozess einbringen. Das alkalische Ätzen verringert diese Menge kaum, was hohe Anforderungen an die anschließende Reinigung ergibt. Die Optimierung von HF/O3-Reinigungslösung für diese Flächen ergab beste Reinigungsergebnisse bei niedrigen HF-Konzentrationen, abhängig vom alkalischen Ätzschritt und anschließendem HCl/HF-Dip.
- Freie Schlagwörter (DE)
- Oberflächen, Metallverunreinigungen, Silicium, Solarzellen, Reinigungsverfahren, alkalisches Ätzen
- Freie Schlagwörter (EN)
- surfaces, metal contamination, silicon, solar cells, alkaline etching
- Klassifikation (DDC)
- 540
- Normschlagwörter (GND)
- Silicium, Solarzelle, Herstellung, Metall, Verunreinigung, Oberfläche
- GutachterIn
- Prof. Dr. Edwin Kroke
- Prof. Dr. Johannes Heitmann
- BetreuerIn
- Prof. Dr. Edwin Kroke
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- TU Bergakademie Freiberg, Freiberg
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-203660
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 09.06.2016
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Englisch