- AutorIn
- M.Sc. Philipp Schumacher
- Titel
- Realization of ion mass and energy selected hyperthermal ion-beam assisted deposition of thin, epitaxial nitride films: characterization and application
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:15-qucosa2-341355
- Datum der Einreichung
- 13.09.2018
- Datum der Verteidigung
- 25.04.2019
- Freie Schlagwörter (EN)
- molecular beam epitaxy, thin film deposition, ion beam assisted deposition
- Klassifikation (DDC)
- 530
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Universität Leipzig, Leipzig
- Version / Begutachtungsstatus
- angenommene Version / Postprint / Autorenversion
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:15-qucosa2-341355
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 04.06.2019
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch
- Inhaltsverzeichnis
1. Introduction 2. Ion-beam assisted deposition (IBAD) 3. The quadrupole mass filter system 4. Experimental Methods 5. Application of energy and mass selected ion-beam assisted deposition 6. Conclusion and Outlook