Optical methods for surface measurements : state of the art

Abstract

Die Einsatzgebiete der optischen Meßtechnik haben sich durch die Einführung entsprechender Bildverarbeitung ausgeweitet. Neben der Triangulation und den Moire-Verfahren bieten sich interferometrische Verfahren für die hochgenaue Messung an; ein großes Potential, das noch nicht voll ausgenutzt wird. Ansätze zur Reduzierung der Störanfälligkeit, aber auch der Auflösung werden diskutiert.

Different optical methods can be used for distance and topography measurement. The range and sensitivity need to be selected. The methods are contactless and fast. Interferometric methods are sometimes, however too sensitive with respect to environmental disturbances and roughness of technical objects. Furthermore surface roughness leads to unwanted speckles to be taken care of by the analysis and information processing. Methods will be developement measure topography of optically rough surfaces. Obligue incidence and 2λ interferometry are possibilities to overcome some of the limitations.