- AutorIn
- Anna Cichos
- Titel
- Struktur- und Lumineszenzuntersuchungen an unterschiedlich praeparierten, modifizierten und strukturierten nanoporoesen Si-Schichten.
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700205
- Datum der Einreichung
- 24.04.1997
- Datum der Verteidigung
- 14.03.1997
- Abstract (DE)
- Die vorliegende Arbeit beschreibt die Herstellung, Strukturierung und Modifizierung von poroesem Silizium. Es wird der Mechanismus der Lumineszenz in poroesem Silizium und der Einfluss von Herstellungsparametern und einer Dotierung mit Laserfarbstoffen auf die optischen Eigenschaften von poroesem Silizium untersucht. Fuer die optische Charakterisierung wurden Photolumineszenz-, Photolumineszenzanregungs- und Kathodolumineszenzspektren aufgenommen. Weiterhin werden Methoden zur Erzeugung von poroesen Mikrostrukturen mit Hilfe eines ECSTM sowie zum Schreiben von optischen Mustern in poroesem Silizium durch einen Elektronenstrahl vorgestellt. Strukturelle Untersuchungen wurden mit einem SEM und einem TEM durchgefuehrt.
- Klassifikation (DDC)
- 530
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:ch1-199700205
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 24.04.1997
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Englisch