- AutorIn
- Uwe Siegert
- Titel
- Silber(I)- und Kupfer(I) – Precursoren für CVD, ALD und Spin-Coating Prozesse
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-201000265
- Datum der Einreichung
- 21.09.2009
- Datum der Verteidigung
- 20.10.2009
- Abstract (DE)
- Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Synthese von Phosphan-Kupfer(I)- und Silber(I)-Thiocarboxylaten der Art [(nBu3P)mMSC(O)R] (m = 2, 3; M = Cu, Ag; R = Me, Ph). Die Verbindungen wurden in Hinsicht auf ihr Potential zur thermischen Abscheidung dünner Schichten untersucht. Weiterhin befasst sich diese Arbeit mit der Darstellung von Silber(I)- und Kupfer(I)-Carboxylaten, die im organischen Rest mindestens eine zusätzliche Donorfunktion besitzen ([(nBu3P)mMO2CR]; m = 1, 2; M = Ag, Cu; R = ungesättigter organischer Rest, CH2O(CH2)2OCH3). Das thermische Verhalten und die Anwendbarkeit dieser Komplexe zur Abscheidung dünner Metallschichten mittels CVD-Verfahren wurden untersucht. Das Verhalten von Phosphan-Silber und -Kupfer-Verbindungen in Lösung wurde mittels dynamischer NMR-Spektroskopie untersucht. Dazu wurden phosphankoordinierte Silber(I)- und Kupfer(I)-Acetate als Modellsystem benutzt und mit einem ausgewählten Vertreter der ungesättigten Carboxylate verglichen.
- Klassifikation (DDC)
- 540
- Normschlagwörter (GND)
- CVD-Verfahren
- Carboxylate
- DNMR-Spektroskopie
- Kupfer
- Phosphane
- Silber
- GutachterIn
- Prof. Dr. Heinrich Lang
- Prof. Dr. Michael Mehring
- BetreuerIn
- Prof. Dr. Heinrich Lang
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:ch1-201000265
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 29.03.2010
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch