- AutorIn
- Michael Naumann
- Titel
- MEMS reliability in shock environments
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-117360
- Datum der Einreichung
- 08.04.2013
- Datum der Verteidigung
- 01.07.2013
- Abstract (DE)
- In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode vorgestellt, mit welcher die Zuverlässigkeit mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) bezüglich stoßinduzierter Fehlermechanismen bereits in der Entwurfsphase neuer Produkte abgeschätzt bzw. verbessert werden kann. Der Ansatz bezieht sich dabei auf bruch- sowie adhäsionsbedingte Ausfallmechanismen und erfordert zwei wesentliche Schritte. Zuerst werden Systemmodelle der jeweils zu untersuchenden mikromechanischen Systeme erstellt, welche die Berechnung der Stoßantwort wie auch der dabei auftretenden Belastungen in Sinne von Auslenkungen, Deformationen und Aufprallkräften ermöglichen. In einem zweiten Schritt wird die zur Fertigung vorgesehene Technologie bezüglich des Auftretens beider stoßbedingter Ausfallmechanismen sowie deren Abhängigkeit von verschiedenen Umgebungsbedingungen oder Betriebsparametern systematisch untersucht. Die aus der Prozesscharakterisierung resultierenden Daten dienen zur Ableitung prozessspezifischer Fehlerkriterien, welche die Einschätzung der zuvor berechneten Lasten ermöglichen. Auf diese Weise kann abgeschätzt werden, inwieweit die Zuverlässigkeit der betrachteten mikromechanischen Strukturen beeinflusst wird bzw. mit welchen Maßnahmen diese gesteigert werden kann.
- Freie Schlagwörter (DE)
- Brüche, Stoßbeschleunigung, Flexible Anschläge, Aufprallmodelle, Stoßantwort
- Freie Schlagwörter (EN)
- MEMS, fracture, reliability, shock acceleration, adhesion, flexible stop, impact model, shock response
- Klassifikation (DDC)
- 600
- Normschlagwörter (GND)
- MEMS, Zuverlässigkeit, Adhäsion, Impulsantwort
- GutachterIn
- Prof. Dr.-Ing. habil. Jan Mehner
- Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach
- BetreuerIn
- Prof. Dr.-Ing. habil. Jan Mehner
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-117360
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 03.07.2013
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Englisch