- AutorIn
- Dipl.-Ing. Christian Helke
- Titel
- Herstellung von neuartigen Reflektorsystemen und Erarbeitung einer systembezogenen Integrationstechnologie für VIS und IR Fabry-Pérot Interferometer
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-334943
- Übersetzter Titel (EN)
- Fabrication of novel reflector systems and development of a system-related integration technology for VIS and IR Fabry-Pérot interferometer
- Erstveröffentlichung
- 2019
- Datum der Einreichung
- 29.03.2018
- Datum der Verteidigung
- 25.10.2018
- ISBN
- 978-3-96100-088-3
- Abstract (DE)
- Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung und Herstellung von Fabry-Pérot Interferometern (FPI) für die spektrale Analyse von Gasen und Flüssigkeiten. Die FPI werden miniaturisiert mittels Siliziumtechnologie hergestellt und ermöglichen kleine Mikrospektrometer mit hohem Auflösungsvermögen. Die vorliegende Dissertation untersucht Technologie- und Herstellungskonzepte für den sichtbaren (VIS) und infraroten (IR) Spektralbereich mit jeweils unterschiedlichen Reflektorkonzepten. Im VIS-Spektralbereich erfolgt neben der Entwicklung von Bragg-Reflektoren auch die Betrachtung von strukturierten, dielektrischen Membrangittern und strukturierten Metallgittern auf dielektrischen Membranen für eine Einsatzmöglichkeit im FPI. Dabei wird ebenfalls die Entwicklung einer Herstellungs- und Strukturierungstechnologie für hochbrechendes Titandioxid durchgeführt, um einen Bragg-Reflektor mit höheren Brechzahlkontrast zu realisieren. Im IR-Spektralbereich stellen drei Bragg-Reflektorvarianten aus polykristallinem Silizium und Luft den Inhalt dieser Dissertation dar. Die hergestellten Reflektoren werden hinsichtlich ihrer Funktion messtechnisch charakterisiert und die Strukturintegration in einem FPI und Etalon anhand von ausgewählten Reflektoren vorgestellt.
- Freie Schlagwörter (DE)
- Fabry-Pérot Interferometer, MOEMS, SWG, Bragg, IR, VIS, Technologieentwicklung, Gassensorik, Deep Reactive Ion Etching, TiO2
- Freie Schlagwörter (EN)
- Fabry-Pérot Interferometer, MOEMS, SWG, Bragg, IR, VIS, technology development, gas sensor technology, Deep Reactive Ion Etching, TiO2
- Klassifikation (DDC)
- 600
- 670
- 680
- Normschlagwörter (GND)
- Interferometer
- GutachterIn
- Prof. Dr.-Ing. habil. Karla Hiller
- Prof. Dr. rer. nat. habil. Stefan Sinzinger
- BetreuerIn Hochschule / Universität
- Prof. Dr.-Ing. habil. Karla Hiller
- Herausgeber (Institution)
- Technische Universität Chemnitz
- Verlag
- Universitätsverlag Chemnitz, Chemnitz
- Version / Begutachtungsstatus
- publizierte Version / Verlagsversion
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-334943
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 11.06.2019
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch