Mikrostrukturen aus verschiedenen Materialien, z.B. Glas, Silizium, Titan und Keramik, wurden durch plasmachemische Beschichtung im SOLECTRO®-Verfahren mit photokatalytischen Titandioxidschichten funktionalisiert. Aus den so erhaltenen Mikrostrukturen wurden verschiedene photokatalytisch arbeitende Mikroreaktoren entwickelt. Diese Photomikroreaktoren wurden charakterisiert und verfahrenstechnische Parameter konnten bestimmt werden.