Ultra-dünnes Glas ist eine neue Art eines transparenten und flexiblen Substratmaterials. Es handelt sich dabei um Glas mit einer Dicke unter 200 μm. Durch die vielen vorteilhaften Eigenschaften, wie zum Beispiel die sehr gute Barriere gegen Wasser und Sauerstoff und die Temperaturstabilität bis 700 °C, ergeben sich neue Möglichkeiten in den Arbeitsgebieten der transparenten Elektronik, der Displaytechnik und innerhalb der Photovoltaik. In diesen Bereichen werden transparent leitfähige Oxidschichten (TCO) für unterschiedliche Funktionalschichten verwendet. Aluminium dotiertes Zinkoxid ZnO:Al wird bereits in einigen Bauelementen als Alternative zum teureren Indium dotierten Zinnoxid (ITO) verwendet. In der vorgelegten Masterarbeit sollen die mechanischen, optischen und elektrischen Eigenschaften von gesputterten ZnO:Al-Schichten auf ultra-dünnes Glas in Abhängigkeit der Prozessparameter untersucht werden.
Ultra-thin glass is a new type of transparent and flexible substrate material. It is a glass with a thickness less than 200 µm. The many advantageous properties, such as the excellent barrier to water and oxygen and the temperature stability up to 700 °C open up new possibilities for transparent electronics, display technology and in photovoltaics. Transparent conductive oxide (TCO) can be used for different functional layers for these topics. As an alternative to expensive indium doped tin oxide (ITO) aluminumdoped zinc oxide ZnO:Al is already used in some devices. In this thesis, the mechanical, optical and electrical properties of ZnO:Al layers sputtered on ultra-thin glass are analyzed with varying parameters.