Es wurden verschiedene Methoden zur Steigerung der Sekundärionen (SI)-Ausbeute bei der SIMS einzeln und in Kombination untersucht. Das Hauptaugenmerk lag auf den Methoden, deren Funktionsweise auf der Erhöhung der oberflächennah deponierten Energiemenge basieren. Die experimentellen Ergebnisse wurden mit theoretisch berechneten Kenngrößen (z.B. Bremsvermögen) verglichen. Als Zusammenhang wurde eine Potenzfunktion ermittelt, für deren Exponent eine vom Probenaufbau abhängige Abschätzung gefunden wurde. Es konnte gezeigt werden, dass auch die Funktionsweise der MetA-SIMS hauptsächlich auf dem oberflächennahen Energieeintrag beruht. Auf Basis der ermittelten Zusammenhänge ist es nun möglich, die durch Anwendung der hier verwendeten Methoden erzielbaren Steigerung der SI-Ausbeute schon bei der Planung eines SIMS-Experimentes quantitativ abzuschätzen und zu entscheiden, ob diese Steigerungen den zeitlichen und finanziellen Aufwand und die Inkaufnahme etwaiger negativer Effekte rechtfertigt.