- AutorIn
- Enrico Loos
- Titel
- Elektronenmikroskopie zum Wachstum von Siliziden
- Alternativtitel
- TEM-Querschnittsuntersuchungen an Chromdisilizid-Silizium-Multilagen
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:swb:ch1-200300987
- Übersetzter Titel (EN)
- electron microscopy on silicide growth
- Datum der Einreichung
- 15.07.2003
- Abstract (DE)
- Elektronenmikroskopie zum Wachstum von Chromdisilizid in Multilagen (nm-Bereich). Variation der abgeschiedenen Zusammensetzung und Tempertemperatur.
- Freie Schlagwörter
- chromdisilizid
- chromiumdisilicide
- multilagen
- multilayer
- multilayers
- silicide
- silicides
- silizide
- Klassifikation (DDC)
- 530
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:swb:ch1-200300987
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 06.08.2003
- Dokumenttyp
- Diplomarbeit
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch