- AutorIn
- Horst-G. Symanzik
- Titel
- Interface-Elektronik für mikromechanische Sensor- und Aktorarrays
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:swb:ch1-200301571
- Datum der Einreichung
- 29.07.2003
- Datum der Verteidigung
- 28.11.2003
- Abstract (DE)
- Die Dissertation behandelt Schaltungen der Mikrosystemelektronik in ihrer Funktion als Schnittstelle zwischen mikromechanischen Komponenten und signalverarbeitender Digitalelektronik. Hierbei werden die für Sensor- und Aktorarrays besonderen Probleme Signalübersprechen und Aufwandsvervielfachung berücksichtigt. Als Entwurfsgrundlage werden die Modellierung von DMOS-Transistoren und Systemaspekte der Sensorsignalauswertung besprochen. Vorgestellt wird der Entwurf und die Realisierung eines Hochvolt-Ansteuerverstärkers, eines Modulators zur Sensorauswertung, eines Korrelator-ICs zur Arraysauswertung und eines mikromechanischen Resonators mit monolithisch integriertem Ausleseverstärker.
- Abstract (EN)
- The dissertation covers circuits in the field of micro-system electronics working as an interface between micro-electromechanical components and digital signal processing. The important problems of signal crosstalk and multiplication of complexity arising in conjunction with sensor- and actuator-arrays are considered. As a foundation for design the modeling of DMOS-transistors and system aspects of sensor-signal-recovery are discussed. The design and implementation of a high-voltage driver-amplifier, a modulator for sensor-signal-recovery, a correlation IC to read out arrays and a micromechanical resonator with monolithically integrated read-out-amplifier is presented.
- Klassifikation (DDC)
- 620
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:swb:ch1-200301571
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 21.12.2003
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch