- AutorIn
- Gregor Englberger
- Titel
- Entwicklung einer neuartigen Plasmafiltertechnik für die Abscheidung defektarmer superharter Kohlenstoffschichten
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-331335
- Erstveröffentlichung
- 2018
- Datum der Einreichung
- 06.07.2017
- Datum der Verteidigung
- 05.09.2018
- Abstract (DE)
- Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung eines Plasmafilters für die Herstellung defektarmer wasserstofffreier Kohlenstoffschichten (ta-C) auf Basis einer leistungsfähigen gepulsten Vakuumbogentechnologie sowie der Charakterisierung der mit dieser Technologie abgeschiedenen Schichten.
- Freie Schlagwörter (DE)
- PVD, Plasmafilter, ta-C, DLCIm
- Klassifikation (DDC)
- 620
- Klassifikation (RVK)
- ZL 7150
- GutachterIn
- Prof. Dr.-Ing. habil. Eckhard Beyer
- Prof. Dr.-Ing. habil. Christoph Leyens
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Dresden, Dresden
- Förder- / Projektangaben
- Version / Begutachtungsstatus
- angenommene Version / Postprint / Autorenversion
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-331335
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 08.02.2019
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch
- Lizenz / Rechtehinweis