Einsatz von Laserverfahren zur Prozessierung von kristallinen Silizium-Solarzellen
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Im Rahmen der vorliegenden Dissertation wurden verschiedene Laserverfahren zur industriellen Fertigung von kristallinen Siliziumsolarzellen angewandt und untersucht. Diese beinhalten vor allem die selektive Ablation von Silizium sowie auf die entsprechenden Oberflächen abgeschiedenen dünnen Schichten aus Dielektrika , Lacken oder Metallen, die Legierung von Metallen in den Halbleiter sowie das selektive Dotieren von Halbleitermaterial. Alle Prozesse wurden zuerst mit unterschiedlichen experimentellen Verfahren charakterisiert und abschließend auf verschiedenen Solarzellenstrukturen qualifiziert.
Zusammenfassung in einer weiteren Sprache
Within the framework of this thesis several different laser technologies for the industrial production of crystalline silicon solar cells have been applied and characterized. They include especially the selective ablation either of silicon itself as well as of thin films, which have been deposited on the surface of silicon material. The thin films may consist of dielectrics, resist or metals. Additionally the alloying of metal into silicon as well as the selective doping of semiconductors was examined. All processes have been experimentally characterized using different test structures and finally applied and qualified on various solar cell structures.
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ISO 690
GROHE, Andreas, 2008. Einsatz von Laserverfahren zur Prozessierung von kristallinen Silizium-Solarzellen [Dissertation]. Konstanz: University of KonstanzBibTex
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